窒素発生装置は、PSA技術に基づいて設計・製造された窒素製造装置です。窒素発生装置は吸着剤としてカーボンモレキュラーシーブ（CMS）を使用しています。通常、2つの吸着塔を並列に使用し、入口PLCによって自動的に操作される入口空気圧バルブを制御し、交互に加圧吸着と減圧再生を行い、窒素と酸素を完全に分離して、必要な高純度窒素を取得します。
カーボンモレキュラーシーブの原料はフェノール樹脂で、まず粉砕して基材と混合し、細孔を活性化します。PSA技術は炭素モレキュラーシーブのファンデルワールス力によって窒素と酸素を分離するため、表面積が大きいほど細孔分布が均一になり、細孔または副細孔の数が多いほど吸着容量が大きくなります。