窒素発生装置は、PSA技術に基づいて設計・製造された窒素製造装置です。窒素発生装置は、吸着剤としてカーボン分子ふるい（CMS）を使用します。通常、2基の吸着塔を並列に接続し、入口PLCによって自動制御される入口空気圧バルブを操作します。加圧吸着と減圧再生を交互に行うことで、窒素と酸素を完全に分離し、必要な高純度窒素を得ます。
炭素分子ふるいの原料はフェノール樹脂であり、まず粉砕して基材と混合し、その後、細孔を活性化します。PSA技術は、炭素分子ふるいのファンデルワールス力によって窒素と酸素を分離するため、表面積が大きいほど、細孔分布が均一になり、細孔または亜細孔の数が多いほど、吸着容量が大きくなります。